滲氮（又稱氮化）是將氮滲入鋼件表面，以提高其硬度、耐磨性、疲勞強度和耐蝕性能的一種化學熱處理方法。

離子滲氮技術于1930年由Berghaus發明并獲得德國專利。20世紀70年代之后取得快速發展并逐漸成為材料表面改性工程中最實用的技術之一。

離子滲氮是在0.1~10 Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極之間加上數百伏的直流電壓。真空環境下，等離子體在電壓的作用下形成定向移動，其中帶正電荷粒子對陰極（被處理工件）形成轟擊，將動能轉化為內能，提高被處理工件溫度。轟擊除了對表面起到清理作用以外，還會產生像霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面，所以離子滲氮又稱為輝光離子滲氮或輝光等離子滲氮。同時陰陽極之間經過一系列復雜的物理化學反應使產品表面滲氮，硬度與耐磨性提高。

離子氮化的顯著特點是氮化速度快，熱效率高，節約能耗，綠色環保無污染。