離子滲氮由于滲氮速度快、生產周期短、變形小、局部滲氮方便，可進行低溫滲氮，節電、生產成本低。自七十年代中期以來已較廣泛應用在機床制造、交通運輸機械、輕工機械和醫療器械等方面的中小負荷，高精度、少磨削的耐磨損、耐疲勞零件。

離子滲氮是將待處理的零件放在真空容器中，并充以1-10托低壓的含氮氣體，以零件為陰極，真空容器的罩壁作為陽極，或在容器內另設金屬陽極。當在陰陽極之間加上數百伏直流電壓時，兩極間的稀薄氣體被電離，從而產生輝光放電。與氣體滲氮相比，離子滲氮具有很多優點，主要表現在：1.滲氮速度快。離子滲氮可以大大縮短滲氮時間，特別是淺層滲氮時其效果更為明顯，例如滲層深度在0.3-0.5mm時，離子滲氮所需的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3-1/5。2.滲層組織易于控制、脆性小。離子氮化可以通過控制氣氛中氮和碳的含量比，或N2和H2的比例，可以獲得脆性較小的單相層，也可以得到韌性更優的無化合物層而僅有擴散層的滲氮層，這樣可以不需要磨削直接裝機使用。3.工件變形小。離子滲氮滲速快，又可以在更低的溫度下進行，同時因為陰極濺射作用，所以變形量比氣體滲氮要小。4.節能、省氣。5.無毒、無臭、無公害。6.適宜于不銹鋼的滲氮。

幾年來,青島豐東離子氮化在合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵、鈦合金等方面的技術不斷成熟。