真空熱處理是指將模具零件置于真空熱處理設備中，進行加熱、保溫和冷卻的工藝方法。其是當前先進的模具熱處理技術之一。隨著模具質量的要求越來越高，一般熱處理難以達到技術要求，模具經真空熱處理后，表面不氧化、不脫碳，淬火畸變小，表面硬度均勻，使用性能得到提高，模具使用壽命普遍增加，一般能提高30%以上，另外真空熱處理可將加工余量（磨削或拋光）縮小1/3~1/2，從而提高了生產效率、降低了模具制造成本。真空熱處理尤其適合于高精密、要求尺寸和性能穩(wěn)定的模具。模具真空熱處理技術有：真空淬火、真空回火、真空滲碳、真空滲氮、真空滲金屬等。

1.真空熱處理工藝參數

（1）真空度

真空度直接影響到模具表面的粗糙度，從而影響表面質量性能，為防止模具表面的合金元素的揮發(fā)，應選擇合理的真空度。

（2）預熱溫度

當真空熱處理的加熱溫度為1000~1100℃時，在800~850℃進行一次預熱；當加熱溫度超過1200℃時，形狀簡單的模具可在850℃進行一次預熱，較大或復雜的模具則應在500~600℃和800~850℃進行兩次預熱。

（3）保溫

1）加熱溫度。真空淬火的加熱溫度一般取鹽浴爐和空氣爐的下限。真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)熱處理時的加熱溫度相同。

2）保溫時間。通常情況下真空加熱時間為鹽浴爐的6倍，空氣爐的2倍，經驗公式為τ＝KB＋T，其中，τ為加熱保溫時間（min），K為保溫時間系數（min/mm），B為模具的有效厚度（mm），T為時間裕量（或稱固定時間）（min）。

2.模具的真空淬火

（1）預熱