真空熱處理爐是在真空狀態下對工件進行加熱和冷卻的熱處理爐，具有無氧化、無脫碳、高效率、低消耗和無污染等優點，在生產中的應用日益廣泛。

通常，按爐子結構與加熱方式，把真空爐分為外熱式和內熱式兩大類。實際生產中，主要應用的是內熱式真空熱處理爐。內熱式真空熱處理爐有單室、雙室和三室等類型。其結構比外熱式真空熱處理爐復雜，使用溫度也高，可達1300℃，可實現快速加熱和冷卻，有利于提高熱處理質量和生產效率。內熱式真空熱處理爐主要用于真空淬火、退火、回火、滲碳等。其中以氣淬真空爐和油淬真空爐應用最廣。

真空爐加熱與普通電爐加熱不同，有其自身的特點。真空爐加熱工件時，由于爐內壓力低，熱傳導主要靠輻射傳熱，很少有對流換熱，所以工件在真空爐內的加熱速度相對較慢，因而加熱時間較長。為了縮短加熱時間，提高加熱速度，有的真空爐內還裝有增強對流傳熱的風扇機構。風扇機構又分為單循環和雙循環兩種方式，單循環方式即對流傳熱和對流冷卻共用一套風扇機構，雙循環方式的對流傳熱和對流冷卻為相互獨立的兩套風扇機構。