合金量具鋼是用于制造測量工件尺寸的工具（如卡尺、量塊、千分尺、卡規、塞規、樣板等）所使用的合金鋼。量具在使用過程中主要受磨損，因而要求量具有高的硬度和耐磨性，同時還必須有高的尺寸穩定性，良好的磨削加工性能，使量具能有較小的表面粗糙度值，形狀復雜的量具還要求熱處理變形小。

通常合金工具鋼如8MnSi、9SiCr、Cr2、W鋼等都可用來制造各種量具；高精度、形狀復雜的量具，可采用微變形合金工具鋼如CrWMn和滾動軸承鋼GCr15制造；形狀簡單、尺寸較小、精度要求不高的量具也可用碳素工具鋼T10A、T12A制造，或用滲碳鋼(15、20或15Cr鋼)制造，并經滲碳淬火與低溫回火處理；要求耐蝕的量具可用馬氏體型不銹鋼68Cr17、85Cr17等制造；直尺、鋼卷尺、樣板及卡規等量具也可采用中碳鋼如55鋼、65鋼、60Mn、65Mn等制造，并經高頻感應淬火處理。

量具鋼的熱處理與刃具鋼基本一樣，須進行球化退火及淬火、低溫回火處理。為使量具獲得高的硬度與耐磨性，其回火溫度還可以更低些。量具熱處理的主要目的是要保證量具在使用過程中的尺寸穩定性。量具尺寸不穩定的主要原因是：①殘留奧氏體繼續轉變引起的尺寸增大；②馬氏體在室溫下繼續分解引起的尺寸收縮；③淬火及加工過程中產生的殘余應力未徹底消除，引起的尺寸變形。

為了提高量具尺寸的穩定性，可在淬火后立即進行低溫回火( 150~160℃)。對于高精度量具如量塊等，應在淬火后及時進行-60~-80℃的冰冷處理，以減少殘留奧氏體量，然后再進行低溫回火，并在精磨后于120℃再進行一次12~16h的人工時效處理，以消除磨削應力，保證量具的尺寸穩定性。