對于精密或超精密軸承件以及用軸承鋼制造的其他精密件的熱處理，為減少淬火組織中的殘留奧氏體，并使剩余的少量殘留奧氏體趨于穩定，從而增加尺寸穩定性和提高硬度，淬火后還需進行一次冷處理。一般精密件的冷處理溫度為-20℃，超精密件的冷處理溫度為-78℃，時間為1～1.5h。工件淬火后應冷至室溫，與冷處理之間的間隔不超過2h，冷處理后回火。

為了消除軸承件在磨削時產生的應力，進一步穩定組織，提高尺寸穩定性，精密軸承或重要軸承在磨削后需要進行穩定化處理（補充回火）。穩定化處理的溫度比回火溫度低20~30℃，一般為120~160℃，保溫時間按軸承精度選擇，一般為3～5h，多則12h，最多可達24h。也可在粗磨和精磨后各進行一次。